便攜式光學膜厚儀

簡要描述：品牌：希臘ThetaMetrisis
名詞：膜厚儀膜厚儀、測厚儀、干涉儀、厚度測量儀
干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。

產品型號：FR-portable
廠商性質：代理商
更新時間：2025-07-01
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光學膜厚儀

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詳細介紹

便攜式膜厚儀主要由以下系統組成：

Α白熾-LED混合集成式光源系統，通過內嵌式微處理器控制，使用壽命超過20000小時。

小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達3648像素， 16位級 A/D 分辨精度；配有USB通訊接口；

Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統，

可精確計算如下參數：

1）單一或堆積膜層的厚度；

2）靜態或動態模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫，可以有效地協助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統可支持吸收率，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。

C) 參考樣片：

a) 經校準過的反射標準硅片；

b) 經校準過的帶有SiO₂/Si 特征區域的樣片；

c) 經校準過的帶有Si₃N₄/SiO₂/Si特征區域的樣片；

D) 反射探針臺和樣片夾具

可處理大的樣品尺寸達200mm, 包含不規則的尺寸等；

手動調節可測量高度可達50mm；

可針對更大尺寸訂制樣片夾具；

Ε) 反射率測量的光學探針

內嵌系統6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm；

F) 附件

FR-portable透射率測量套件；

Thickness measurement range	12nm – 90μm
Refractive Index calculation	P
Thickness measurement Accuracy	0.2% or 1nm
Thickness measurement Precision	0.04nm or 1‰ (0.01nm)
Thickness measurement stability	0.02nm
Sample size	1mm to 200mm and up
Spectral Range	400nm – 1100nm
Working distance	3mm-20mm
Spot size	0.35mm (diameter of the reflectance area)
Light Source Lifetime	20000h
Wavelength resolution	0.8nm
Number of Layers Measured	Max. 5 layers
Measurement time (max acquisition speed)	10ms/point
A/D converter	16 bit
Power	USB – supplied
Dimensions	300mm x 110mm x 40mm

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