微米級光學薄膜測厚儀

FR-uProbe是涂層表征應用的解決方案，要求光斑尺寸小*小微米，例如微圖案表面，具有不規則表面的樣品，其表現出高水平的散射光和許多其它。使用FR-uProbe，在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度，光學常數，反射率，透射率和吸光度測量只需點擊即可。

FR-uProbe簡單地連接到大多數商用光學顯微鏡的C接口適配器，并提供：

o實時光譜測量

o薄膜厚度，光學性能，非均勻性測量

o使用集成的USB連接和高質量彩色相機進行成像

o顯微鏡本身的性能不受影響

工作原理

白光反射光譜（WLRS）測量在一定波長范圍內從薄膜或多層疊堆反射的光量，入射光垂直于（垂直于）樣品表面。

通過來自界面的干涉產生的測量的反射光譜用于確定自支撐和支撐（在透明或部分/全反射基板上）薄膜堆疊的厚度，光學常數（n和k）等。

應用

o大學和研究實驗室

o半導體（氧化物，氮化物，硅，抗蝕劑等）

o MEMS器件（光刻膠，硅膜等）

o LED

o數據存儲

o陽極氧化

o彎曲基板上的硬/軟涂層

o聚合物涂料，粘合劑等

o生物醫學（聚對二甲苯，氣球壁厚等）

特征

o   單擊分析（無需初始猜測）

o   動態測量

o   集成USB攝像頭

o   保存視頻進行演示

o    350+不相同的材料

o    3年免費軟件更新

o   在Windows 7/8/10上運行