退火爐

簡(jiǎn)要描述：普通擴(kuò)散爐，管式爐由于升溫速率很慢，因此對(duì)測(cè)溫模塊的響應(yīng)速度都沒(méi)有特殊要求，常常采用市場(chǎng)上常見(jiàn)低廉的所謂“數(shù)字智能"控溫表頭來(lái)作為測(cè)溫控溫的主要組件，俗稱(chēng)“歐陸表"。
但是，在快速升溫的情況下，測(cè)溫表頭的工作頻率已經(jīng)跟不上溫度變化的速度，有時(shí)候樣品實(shí)際溫度與測(cè)量溫度會(huì)相差上百！因此就不能使用通常的辦法測(cè)溫。和國(guó)外主流產(chǎn)品一樣，東之星的快速熱處理設(shè)備也采用自主研發(fā)的溫度測(cè)量電路以及控制電路，為設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào)：RTP500V-mini/RTP600V
廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-07-02
訪(fǎng) 問(wèn) 量：1505

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詳細(xì)介紹

目前在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中，科學(xué)家試圖利用極微量的氧氣對(duì)薄膜表面進(jìn)行去毛刺工藝，如果氧氣量過(guò)大，將可能把整個(gè)薄膜“吃掉"，氧氣量小但不穩(wěn)定，則影響到成品的品質(zhì)和重復(fù)性。這對(duì)RTP在微量氣體的混氣控制上提出了極大的挑戰(zhàn)。
　　實(shí)現(xiàn)常壓下千分之一的氣體分壓。即反應(yīng)氣體和保護(hù)氣氛的常壓配比為1比1000。一般實(shí)現(xiàn)氣體配比的方法是使用質(zhì)量流量控制器（MFC），對(duì)兩種氣體的流量進(jìn)行精確控制，例如配比為3：2時(shí)，兩個(gè)質(zhì)量流量計(jì)的流量分別調(diào)整為600sccm和400sccm，這時(shí)氣體配比就可以實(shí)現(xiàn)3：2的配比。
　但是，當(dāng)兩種氣體的配比非常懸殊的時(shí)候，就產(chǎn)生兩個(gè)問(wèn)題，首先是大量程MFC的誤差絕對(duì)值超過(guò)了小量程氣體MFC本身的量，使得配比的重復(fù)性和精確度變差。即使使用進(jìn)口的MFC也不能幸免。其次，由于一方氣體流量過(guò)小，會(huì)使流量大的一方的氣體阻止或倒灌到流量小的氣路中，從而無(wú)法保證反應(yīng)氣體進(jìn)入反應(yīng)室內(nèi)。
北京東之星應(yīng)用物理研究所首先采用精確的壓力控制使壓力與流量有效的配合，同時(shí)委托MFC廠(chǎng)家以東之星*的送氣控制方式定制了MFC。從而有效的防止了大配比氣體（一般是氮?dú)猓┑牡构嗪妥枞２艑?shí)現(xiàn)了高精確度的千分之一氣體配比。

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