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      當前位置：首頁   >  產(chǎn)品中心   >  紫外掩膜曝光系統(tǒng)  >  UV-KUB 3
            
      

      





      
	
      
        
        
        
        
      
        	
      
            	
        
                
                
                	
      • UV-KUB 3UV-LED 的緊湊型掩膜對準系統(tǒng)
        

        


        UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統(tǒng)的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統(tǒng)，兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學(xué)裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準直光束，因此可實現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。
        

        

        

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        產(chǎn)品價格：面議
        

        廠商性質(zhì)：代理商
        

        更新日期：2025-07-02
        

        

        

        


        

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