EBR測量系統

The EBR measuring device from OEG GmbH is used to check the function of the machines for Edge Bead Removal.
OEG GmbH公司生產的EBR測量裝置用于檢測邊緣去膠機器的功能。

It can check the edge stripping produced by these devices and measure the width of the stripped area fully automatically.
它可以全自動檢測這些設備產生的邊緣剝離并測量剝離區域的寬度。

通過旋轉涂布在微電子基板上施加光刻膠、抗反射涂層或聚酰亞胺涂層時，常會形成所謂的邊緣凸起。這是涂層材料在基板外緣以凸塊形式的不必要堆積。這些堆積物還可能包裹基板邊緣，從而污染基板背面的邊緣區域。如果晶圓邊緣未被清潔，干燥的顆粒或光刻膠殘留物可能會剝落，導致后續制造和工藝步驟中的顆粒污染等問題。因此，應去除基板外圍區域的多余殘留物。為此目的，有專門的設備可供使用。