TC-Wafer校準儀

簡要描述：TC-Wafer校準儀是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器，適配市場上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設備。

產(chǎn)品分類

詳細介紹

TC-Wafer校準儀，是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器。

適配市場上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設備。

特殊情況可定制以適配。

產(chǎn)品特點（部分）

1.測溫準確溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準確測量晶圓溫廠均勻性；

2.使用便捷儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數(shù) 據(jù)，并能自動生成測試報告，

支持U盤、藍牙、無線網(wǎng) 絡等多種方式導出數(shù)據(jù)和報告；

3.顯示直觀最多支持20路實時測量(20路以上可定制)，顯示實時點位圖及溫度分布圖，

可在使用過程中實時觀察各點溫度變化；

4.功能* 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。

可做同一臺設備不同時間段、以及不同設備同一配方的數(shù)據(jù)對比；

5.便攜易維護便攜一體化設計，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口

65W速充，可迅速更換TC- wafer。

TC-Wafer校準儀應用功能：

1.半導體制造工藝調(diào)校

2.RTP設備的測試、驗證

3.TC-Wafer的測試、驗證

4.相關晶圓熱處理設備的測試、驗證 , 如

CVD,PVD,Photo,等等;

5.使用范圍：室溫~ 1200℃(更高溫可定制)

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邁可諾技術有限公司

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