AZ1500系列G線光刻膠

簡(jiǎn)要描述：AZ1500系列G線光刻膠高感光度標(biāo)準(zhǔn)G線正型光刻膠
為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠
特征：
1) 高感光度,高產(chǎn)出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)
3) 廣泛應(yīng)用于*半導(dǎo)體行業(yè)

產(chǎn)品型號(hào)：AZ1500（90cp）
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-08-04
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高感光度標(biāo)準(zhǔn)G線正型光刻膠

AZ1500系列G線光刻膠

為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠

特征：

1) 高感光度,高產(chǎn)出率

2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)

3) 廣泛應(yīng)用于*半導(dǎo)體行業(yè)

AZ1500系列G線光刻膠參考工藝條件：

前烘：100℃ 60秒 (DHP)

曝光：G線步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光機(jī)

顯影：AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle

清洗：去離子水30秒

后烘：120℃ 120秒 (DHP)

剝離：AZ剝離液及/或氧等離子體灰化

產(chǎn)品型號(hào)：AZ1500

Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa

AZ1500系列G線光刻膠 旋涂曲線：

AZ1500-曲線.png

AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓：

AZ1500-輪廓.png

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