德國進口 SPS勻膠機 Polos旋涂儀 SPIN系列

新的改進和創(chuàng)新設計的 德國進口 SPS勻膠機 Polos旋涂儀 SPIN系列 SPIN200x 型號，它是一種多功能的高質(zhì)量基材旋涂機，由NPP制成，也可采用PTFE 制成。它是專門為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計的。它是用于手動或自動（可選）化學品分配的桌面版本。

 德國進口 SPS勻膠機 Polos旋涂儀 SPIN系列 SPIN200x 全新升級版現(xiàn)已上市

我們?nèi)赂倪M設計的POLOS® SPIN200x勻膠機型號現(xiàn)已開放訂購。該型號提供精準且可重復的工藝控制，主體材質(zhì)采用天然聚丙烯（NPP），或可選耐化學腐蝕的**聚四氟乙烯（PTFE）**版本。

此型號基于市場驗證的經(jīng)典型號升級開發(fā)，提供標準版與進階版兩種配置，可兼容處理：

①直徑最大200 mm的圓形基板

②150×150 mm的方形樣品

專為半導體、光伏、MEMS及納米材料領域設計，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴苛工藝要求。

一．創(chuàng)新設計亮點

優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)設計

特殊外殼與排水系統(tǒng)設計，支持桌面式與嵌入式安裝模式自由切換。模塊化結(jié)構(gòu)允許用戶通過多樣化配件升級設備，優(yōu)化點膠操作與整體流程便捷性。

二．電機歸位位置自定義

全新SPINx系列支持設定電機歸位位置，便于無縫集成至機器人控制/自動化產(chǎn)線環(huán)境。

三．便捷腔體訪問

真空吸盤高于勻膠碗邊緣，確保機械手末端執(zhí)行器、鑷子或真空吸筆可直接觸達晶圓/基板，滿足機器人操作的特殊需求。

四．自動開蓋系統(tǒng)

可通過用戶界面或腳踏開關（適配手套箱環(huán)境操作）實現(xiàn)蓋體自動開閉

支持在工藝配方結(jié)束時自動觸發(fā)開蓋動作

五．液體過濾保護裝置

SPINx系列配備液體過濾器，有效保護勻膠機核心組件（驅(qū)動單元、真空閥、真空傳感器及伺服控制器）。該裝置可攔截通過工藝腔或真空吸盤進入管路的液體，所有光刻膠或流體將被安全收集至透明觀察瓶內(nèi)（通過設備外殼視窗可實時監(jiān)測）。維護建議：定期檢查收集瓶并按需清理殘留液體。

六．適用工藝范圍

涂覆（Coating）

清洗（Cleaning）

沖洗/干燥（Rinse/Dry）

顯影（Developing）

蝕刻（Etching）

PDMI及其他特殊工藝

1. SPIN200x硬件規(guī)格

1. 驅(qū)動單元技術參數(shù)

   1.驅(qū)動類型：間接無刷電機，最高轉(zhuǎn)速12,000 RPM

   2.控制精度：高加速性能，轉(zhuǎn)速范圍1 - 30,000 RPM（需確認實際可達性）

   3.旋轉(zhuǎn)模式：順時針/逆時針旋轉(zhuǎn)及靜態(tài)浸潤（Puddle Mode）

   4.安裝兼容性：支持桌面式與嵌入式模式切換

2. 標準配件

   真空吸盤（適配4-8英寸/100-200毫米晶圓）

   基板適配器套裝