光譜橢偏儀帶自動(dòng)監(jiān)測(cè)

光譜橢偏儀帶自動(dòng)監(jiān)測(cè)

橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學(xué)技術(shù)，用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入層。對(duì)于常規(guī)和晶圓廠加工質(zhì)量控制，必須有一個(gè)自動(dòng)盒式裝卸機(jī)。為此，我們開發(fā)了一種低成本解決方案，可將晶圓尺寸從2“擴(kuò)展到8”（臺(tái)式），將塔式尺寸擴(kuò)展到12“。用戶甚至可以為每個(gè)插槽定義配方，從而為整個(gè)盒式磁帶測(cè)量定義配方。

應(yīng)用范圍：

半導(dǎo)體制造（PR，氧化物，氮化物..）

液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）

光學(xué)涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

半導(dǎo)體化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

非晶，納米和晶體硅

光伏薄膜，CdTe，CdS，CIGS，AZO，CZTS .....

特征：

水平樣品放置

價(jià)格合理，成本低廉，設(shè)計(jì)緊湊

易于與基于Windows的軟件一起使用；高級(jí)用戶的科學(xué)模式，日常操作員模式

可變?nèi)肷浣牵脩艨啥x分辨率

全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和模型配方

*TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表，色散或EMA混合物/復(fù)合材料的層以及索引等級(jí)以及表面/界面粗糙度...

可通過各種選件和附件進(jìn)行升級(jí)和重新配置

晶圓厚度：200µm至1mm（弓形<1.5mm，無翹曲）

前載紙盒

帶有傳感器的高速電梯

包括盒式磁帶映射器（檢測(cè)空插槽和交叉開槽的晶圓）

包含臺(tái)載傳感器

包含用于平板或槽口的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

EMO緊急關(guān)機(jī)開關(guān)

中心觸點(diǎn)末端執(zhí)行器與橢圓偏振儀工具上的晶片支架匹配

兼容潔凈室

易于使用的可調(diào)節(jié)水平腳，并牢固橋接至橢圓儀框架

緊湊的設(shè)計(jì)，所有電子設(shè)備內(nèi)置在裝載機(jī)中

通用電源輸入

通過USB與計(jì)算機(jī)通信，與Ellipsometer共享一臺(tái)計(jì)算機(jī)和顯示器

升級(jí)的TFProbe SW具有集成的晶圓處理功能，易于操作

特殊設(shè)計(jì)的帶有真空吸盤的新型晶圓支架，可將晶圓固定在適當(dāng)位置

系統(tǒng)配置：

根據(jù)不同的應(yīng)用，光譜橢偏儀可以配置SE200BM，SE300BM和SE500BM或其他型號(hào)。

總重量：300磅

尺寸：60英寸（長(zhǎng)）x 35英寸（長(zhǎng)）x 35英寸（高）

電源：通用輸入100-240 VAC，6A，50-60 H

真空源：小70 kPa（21 Hg），帶有1/4英寸的供氣管