Anatech ICP等離子刻蝕機

當氣體暴露在電子區域時可以形成等離子體。如果該區域氣流足夠強，高比例的氣體原子將服從電子或兩個成為已電離的。由此產生的電離氣體和釋放的高能電子組成的氣體等離子或離子。已電離的氣體原子的動能相對較小，除非他們通過電場加速。加速時，他們會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。等離子體效應的過程轉換成材料的蝕刻工藝。活性氣體在分子級上的使用也產生化學反應。

氣體等離子體類型：各向異性等離子體是有方向性的，由電氣控制一些具體的高能離子，或某個范圍的能量（見美國鋁框系統）。

各向同性等離子體是多方位和包含整個的3 – D等離子的設備（見美國石英筒備系統）。

氣體等離子體處理了超過濕化學處理幾個優點。液體的表面張力的現象消除，正如泡沫的形成，這可能會導致不*濕化。等離子蝕刻可以迅速結束，終止進程，而液體蝕刻工藝很難準確的結束。

“綠色”的優勢：無氟氯化碳和污水，操作和環境安全。排除有毒和腐蝕性的液體。等離子處理的主要缺點是較低的吞吐量。

我們致力于氣體等離子處理，即讓氣體在常溫下，無熱相變下改變。這些氣體可以是惰性的，也可以是起反應的。在反應性氣體的情況下，利用動量轉移處理以及氣體反應的化學性質改變材料的特性。

鋁質腔體等離子系統Aluminum Chamber Plasma Systems

SCE 14鋁質腔體等離子系統

長寬高356毫米的立方體腔體

外形尺寸559毫米 x 686毫米 x 915毫米 (w,d,h)

SCE 18鋁質腔體等離子系統

長寬高457毫米的立方體腔體

外形尺寸 711毫米x 711毫米x 1651毫米(w,d,h)

SCE 24鋁質腔體等離子系統

長寬高610毫米的立方體腔體

外形尺寸 864毫米 x 813毫米 x 1829毫米 (w,d,h) 

SCE30鋁質腔體等離子系統

長寬高762毫米的立方體腔體

外形尺寸915毫米x 915毫米x 1829毫米(w,d,h)

石英滾筒等離子系統Quartz Barrel Plasma Systems

4" diameter x 8" long  

102毫米直徑 x 203毫米長腔體

外形尺寸26" H x 23" W x 30" D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D

SCE 106石英滾筒等離子處理系統

6" diameter x 8"long

 152毫米直徑x 203毫米長腔體

外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D

SCE108石英滾筒等離子處理系統

8" diameter x 8"long 腔體

203毫米直徑x203毫米長

外形尺寸  26"H x 23"W x 30"D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D

SCE110石英滾筒等離子處理系統

10" dia x 18" L long 

254毫米直徑x 457毫米長腔體

外形尺寸36"H x 21"W x 30"D  914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D

SCE 115石英滾筒等離子處理系統

10" dia x 18" L long 

254毫米直徑x 457毫米長腔體  

外形尺寸22" W x 36" H x 27" D   559毫米x914毫米H x 686毫米 D

SCE150石英滾筒等離子處理系統

10" dia x 18"L  2 4毫米直徑x 457毫米長腔體

SCE 604石英滾筒等離子處理系統

Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz  

4個腔體102毫米x203毫米直徑石英腔體

玻璃等離子系統Tumbler Plasma Systems

SCE 10等離子處理系統

SCE 18等離子處理系統

Aluminum Basket (457毫米 x 1016毫米)

控制系統Control System

•     PLC - "Touch-Panel" operation

PLC  觸摸面板操作

•     Digital count down timer (hrs, min, sec)

數字倒計時定時器（小時，分，秒）

•     Digital On-Screen vacuum display

數碼屏幕真空顯示器

•     Gas flow with needle valve control

氣體流量針形閥控制

•     Manual tuning standard

手動校準標準

•     Optional: Automatic RF tuning for load match

•     可選的：自動射頻調整與負載匹配

反應腔體Reactor Chamber

•     4" diameter x 8" long quartz chamber

•     4英寸直徑x8英寸長的石英艙體

•     RF shielded

•     射頻屏蔽

•     Front load

•     前負荷

尺寸：Dimensions

•     26" H x 23" W x 30" D

•     26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）

•     275 lbs Crated weight

•     275磅包裝重量。

射頻功率源RF Power Source

•     0-150 Watt RF 13.56 MHz supply

•     0-150 W射頻13.56兆赫茲供應

•     Forward and reflected power readings

•     正向和反射功率讀數

•     Low frequency optional

•     低頻選項