1、 勻膠機工作原理： SPIN-300勻膠旋涂儀（spin coater）的工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。 2、勻膠機型號及技術參數如下： 型號 | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | POLOS600 | 基片范圍 | 直徑160mm or 4?方片 | 直徑260mm or 6?方片 | 直徑360mm or 8?方片 | 直徑460mm or 350mm方片 | 直徑600mm or 430mm方片 | 程序段數 | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 30個程序 | 操作步數 | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 90個步驟 | 旋轉速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | 0-1,500 rpm ±1rpm steps | 旋轉精度 | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | 旋轉方向 | 順時針、逆時針、交換擺 | 順時針、逆時針、交換擺 | 順時針、逆時針、交換擺 | 順時針、逆時針、交換擺 | 順時針、逆時針 | 加速度 | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm時取決于負載 | 500 rpm/sec | 旋轉時間 | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 1 to 999 sec/step | 腔體直徑 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 642mm | 外形尺寸 (w*h*d ) | 274 x 250 x 451 mm | 380 x 307 x 559mm | 430 x 310 x 650mm | 795 x 638 x 922mm | 800 x 1,450 x 1,650mm | 觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 設備重量 | 14Kg | 20Kg | 32Kg | 75Kg | | 電源參數 | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz |
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三、勻膠機的特點：
1、該SPIN-300勻膠旋涂儀采用德國*技術：
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計，這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；
3、勻膠機真空Chuck經精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調節轉速調節涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節流閥實現調節，與配套真空泵一同使用。
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