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2.6 升的 Low Cost 等離子體實(shí)驗(yàn)室設(shè)備型號(hào)為ZEPTO的德國(guó)Diener等離子清洗機(jī),配有手動(dòng)型 和 Basic PC 控制系統(tǒng),主要用于以下領(lǐng)域: 小批量生產(chǎn), 分析 (REM, TEM), 醫(yī)療技術(shù), 滅菌, 研究和開發(fā)部門, 考古, 紡織技術(shù), 塑料技術(shù)
臺(tái)式等離子清洗機(jī) 1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器,一鍵式操控。 2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。 3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。
射頻真空等離子表面處理系統(tǒng) PT1000-PE等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備,利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面,達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。
實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)PT1000等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備,利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面,達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧,真空腔容量大,適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境;清洗過程不會(huì)產(chǎn)生高溫,避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形;可以處理各種各樣的材質(zhì),如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料,應(yīng)用廣泛。
TergeoPro等離子系統(tǒng)可處理8英寸基片清洗機(jī)的應(yīng)用類似于較小的 Tergeo 等離子系統(tǒng),不同之處在于它可以接受更大的樣品。
射頻等離子體蝕刻機(jī)Quorum K1050X可以用于使用反應(yīng)氣體(例如CF 4) 去除硅層,以及用于使用氧氣去除光刻膠。 等離子灰化是指使用氧氣或空氣對(duì)有機(jī)材料進(jìn)行可控的低溫去除,其廣泛應(yīng)用于研究和質(zhì)量控制領(lǐng)域。RF等離子還可用于塑料和聚合物的表面改性-以及清潔TEM和SEM樣品以及樣品支架。
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